Các phương pháp hiệu chuẩn phổ biến trên máy CMM

Hiệu chuẩn đầu dò (Probe Calibration)

Là bước quan trọng nhất trong quá trình vận hành hằng ngày.

Mục tiêu máy đo 3d:

• Xác định bán kính quả ruby
• Xác định hướng vector đo
• Bù trừ sai số hình học đầu dò

Dùng chuẩn sphere master có độ chính xác 2–5 micron để hiệu chuẩn.

Kiểm tra độ lặp lại đầu dò – ISO 10360-5

Dùng quả cầu chuẩn để đo nhiều điểm lặp lại → đánh giá khả năng lặp lại (repeatability) của đầu dò.

Tiêu chuẩn cho phép sai số thường:

• 1–2 µm đối với đầu dò(tp20, tp200)
• 0.5–1 µm với đầu dò scanning (SP25, SP600)

Kiểm tra độ chính xác đo chiều dài – ISO 10360-2

Phép đo dùng thanh gauge block / step gauge / ball bar để kiểm tra:

• Đo vị trí
• Đo đoạn thẳng
• Đo không gian 3D

Kết quả coordinate measuring machine trả về thông số MPE (Maximum Permissible Error), ví dụ:

• E0: 2.2 + L/250 µm
• E150: 2.4 + 3.3L/1000 µm

(Mỗi hãng – Hexagon, Zeiss, Mitutoyo – có thông số sai số khác nhau.)

Hiệu chuẩn scanning – ISO 10360-4

Áp dụng cho máy dùng đầu dò quét (SP25, SP80, VAST).

Kiểm tra:

• Độ tròn khi quét
• Đo biên dạng 2D/3D
• Sai số quét đường dài (line scan)

Kiểm tra hình học máy (Geometry Calibration)

Bao gồm:

• Độ vuông góc X–Y–Z
• Sai số xoắn trục
• Sai số thẳng tuyến
• Sai số động cơ

Phương pháp: laser interferometer, autocollimator, artefact chuẩn.